聯(lián)系我們
contact us
上海子微智能科技有限公司
聯(lián)系人：譚經(jīng)理
聯(lián)系方式：13916909939
聯(lián)系電話：021-69528661（傳真）
郵箱：tx_68@163.com
網(wǎng)址：http://www.worldinternetsummit.cn/
公司地址：上海市嘉定區(qū)楊林路575號D座
聯(lián)系我們
contact us
上海子微智能科技有限公司
聯(lián)系人：譚經(jīng)理
聯(lián)系方式：13916909939
聯(lián)系電話：021-69528661（傳真）
郵箱：tx_68@163.com
網(wǎng)址：http://www.worldinternetsummit.cn/
公司地址：上海市嘉定區(qū)楊林路575號D座
1. 功能、特點
低溫磁控濺射
射頻等離子清洗
離子源輔助沉積（可選）
鍍膜工藝室隔離以減少污染
智能操控界面及工藝流程
可自動保存工藝數(shù)據(jù)
膜層致密、均勻，電性能優(yōu)異
2. 可選膜層材料
Cu、Al、Ag、Au、Ni、Cr、Ti、Nb及氧化物等；
3. 典型應(yīng)用
復(fù)合銅箔
柔性線路板
導(dǎo)電布
超級電容
柔性太陽能電池
FPD平板顯示
ITO透明導(dǎo)電膜
4. 適用行業(yè)
電子、光電、傳感器、智能汽車、機器人、新能源、航空航天；
5. 規(guī)格概要
@RS-SP系列 | |
真空室形式 | 三腔 |
基材材質(zhì) | PI、PET、PC（卷料，適用于卷對卷材料濺射） ?450×550 |
基材厚度 | 6-200μm（以30μm驗收，其他尺寸兼容） |
有效鍍膜幅寬 | 300~1300mm(Max) |
基材傳送線速度 | 0.1-15m/min（以3米速度驗收，其他尺寸兼容） |
收/放料夾軸規(guī)格 | 3吋機械夾軸 |
可放置基材*卷徑 | φ800mm（MAX） |
膜層不均勻性 | ≤±5% |
真空條件 | 未裝入卷軸基材及材料情況下， 經(jīng)1小時抽真空后≤3.0×10－3Pa 經(jīng)24小時抽真空后工藝箱體≤5.0×10－4Pa 以上數(shù)據(jù)是在真空腔體處于干燥和干凈情況且加熱器關(guān)閉下所測得 |
真空室溫度 | ≤120℃ |
