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上海子微智能科技有限公司
聯系人：譚經理
聯系方式：13916909939
聯系電話：021-69528661（傳真）
郵箱：tx_68@163.com
網址：http://www.worldinternetsummit.cn/
公司地址：上海市嘉定區(qū)楊林路575號D座
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@MS系列高性能磁控濺射鍍膜機
@MS系列高性能磁控濺射鍍膜機
一、@MS系列高性能磁控濺射鍍膜機
1.功能、特點
低溫磁控濺射
射頻等離子清洗
離子源輔助沉積（可選）
公自轉轉架
智能操控界面及工藝流程
可自動保存工藝數據
膜層致密、均勻，電性能優(yōu)異
2.可選膜層材料
Cu、Al、Ag、Au、Ni、Cr、Ti、Nb等；
3.典型應用
陶瓷器件鍍制高質量電極（PZT壓電陶瓷、復合功能陶瓷、PTC熱敏電阻等）
電子產品鍍制電磁屏蔽（EMI）涂層；
藍寶石、玻璃、亞克力等光學元件鍍制金屬膜層；
熱沉材料、塑封器件金屬化；
傳感器鍍制金屬涂層（位移傳感器、ZrO2氧傳感器、溫濕度傳感器等）
4.適用行業(yè)
電子、光電、傳感器、智能汽車、機器人、新能源、航空航天；
5.規(guī)格概要
